太陽能光伏設備-企業官網

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產品分類 PRODUCTS

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產品名稱：PECVD等離子增強化學氣相淀積設備

產品類型：太陽能光伏設備

產品簡介：PECVD在太陽能光伏行業中，用于制備減反射膜。其技術原理是利用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電（或另加發熱體）使樣品升溫到預定的溫度，然后通入適量的反應氣體，氣體經一系列化學反應和等離子體反應，在樣品表面形成固態薄膜。

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產品名稱：擴散爐

產品類型：太陽能光伏設備

產品簡介：應用于太陽能光伏半導體分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規模集成電路制造領域對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，可用于2-8英寸工藝尺寸。

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產品名稱：閉管軟著陸擴散爐

產品類型：太陽能光伏設備

產品簡介：閉管磷擴散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，工藝廢氣集中從尾部排出；各種工藝氣體可分開送入石英管內，工藝氣體（三氯氧磷）可采用噴淋式方式引入石英管內。閉管擴散方式工藝過程完全不受外界環境干擾，工藝質量完全受控。

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